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晶圆堆叠对准装置及对准方法.pdfVIP

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  • 2023-10-25 发布于四川
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晶圆堆叠对准装置及对准方法.pdf

    本发明提供了一种晶圆堆叠对准装置及对准方法，该装置包括基座与设置在基座上的第一载片机构、第二载片机构与视觉检测机构；第一载片机构与第二载片机构分别包括彼此对应且盘面相互平行的第一载片盘与第二载片盘；视觉检测机构的视线方向垂直于盘面，其能够采集第一载片盘与第二载片盘的图像信息以获取二者所装载的载片的位置信息；其中，第一载片盘和/或第二载片盘能够沿平行于其盘面的多个目标方向移动，且第一载片盘和/或第二载片盘能够在其盘面所在的平面内旋转。基于本发明的技术方案，基于高精度的图像采集、分析，可以精确计算出

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116936433 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202210368328.3 (22)申请日 2022.04.08 (71)申请人 北京华卓精科科技股份有限公司 地址

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