《光学元件表面疵病定量检测方法》征求意见稿.pdfVIP

ICSXX.XXX.XX XXX 团体 标 准 T/COEMAXXXXX-2020 光学元件表面疵病定量检测方法 QuantitativeInspectionMethodfor SurfaceImperfectionsofOpticalElements 202X-XX-XX 发布 202X-XX-XX 实施 中关村材料试验技术联盟 发布 T/COEMA XXXXX—2020 I T/COEMA XXXXX-2020 光学元件表面疵病定量检测方法 1 范围 本标准规定了光学元件表面疵病定量检测的一般要求、检