水冷屏及单晶炉.pdfVIP

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2023-10-25 发布于四川
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本实用新型涉及单晶硅生产用设备的技术领域，提供一种水冷屏及单晶炉，包括筒状的水冷屏本体以及设置于水冷屏本体内的冷却液流道；水冷屏本体内部具有空腔且两端开口；冷却液流道的至少一个内壁上设置有沟槽，沟槽至少有一条且沿冷却液流道的延伸方向设置。如此设置，沟槽可以在冷却液流道的内壁上形成微流道，其作用类似毛细管，当冷却液在冷却液流道内流动时，沟槽会提供附加的驱动力即毛细力，加速冷却液的流动，从而强化冷却液带走的热量；同时增大了水冷屏的有效散热面积；提高了水冷屏的散热效率，加快了晶棒的散热，以进一步提高单

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219886235 U (45)授权公告日 2023.10.24 (21)申请号 202320830807.2 (22)申请日 2023.04.13 (73)专利权人三一硅能（株洲）有限公司地址