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本发明提供一种常压微波等离子体双波导耦合装置，包括上下两路平行的波导耦合子模块和冷却水循环系统，每一路波导耦合子模块包括电源、磁控管、环形器、波导、微波谐振腔、放电石英管和反射板。本发明主要针对单路波导传输功率有限，等离子体电离能力较弱，无法形成高能量和高密度等离子体的问题，采用两路微波谐振腔进行耦合，输出功率可以达到原来的两倍，同时上谐振腔采用与压缩波导连接的形式，大大提高了上部分电磁场的能量密度，使得等离子体电离能力明显增强，显著提高了等离子体活性粒子含量，所述装置可在常压条件下一步法直接制
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116936329 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202311189309.5 C03B 37/018 (2006.01)
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