可弯曲的X射线探测器及其制备方法.pdfVIP

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2023-10-25 发布于四川
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可弯曲的X射线探测器及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种可弯曲的X射线探测器及其制备方法，X射线探测器包括柔性衬底、设置在所述柔性衬底上的底电极层、依次叠设在所述底电极层上的第一半导体多晶膜层和第二半导体多晶膜层、设置在所述第二半导体多晶膜层上的顶电极层；所述第一半导体多晶膜层和所述第二半导体多晶膜层中，一者为n型半导体，另一者为p型半导体。本发明的可弯曲的X射线探测器，以柔性衬底作为基板，配合n型和p型半导体及电极等形成可弯曲的X射线探测器，具有结构简单、空间分辨率高和价格低廉的特点，适用于X射线CT成像系统。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116940132 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202310910774.7 H10K 71/12 (2023.01)