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本发明提出了一种晶圆传输机械手系统及方法，包括末端执行器二、末端执行器三、末端执行器四和末端执行器五，沿Z向由下到上依次设置；丝杠A和丝杠B，丝杠A用于驱动末端执行器二和末端执行器五沿Z向移动；末端执行器二、末端执行器五均与对应的丝杆螺母固定；丝杠B用于驱动末端执行器三、末端执行器四沿Z向移动；末端执行器三、末端执行器四均与对应的丝杆螺母固定；线轨A和线轨B，用于限制对应的丝杠绕Z轴旋转；末端执行器一，作为Z向的基准层，用于单独装载传输晶圆以进行单层取放模式或进行多层取放模式，其固定于一单层底座
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116922423 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202310919456.7
(22)申请日 2023.07.25
(71)申请人 上海稷以科技有限公司
地址 20
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