一种用于真空腔室的抽气装置.pdfVIP

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2023-10-25 发布于四川
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一种用于真空腔室的抽气装置.pdf

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本实用新型公开了一种用于真空腔室的抽气装置，涉及真空镀膜技术领域，包括抽气装置主体，固定连接在所述抽气装置主体一端的抽气嘴，以及固定安装在抽气装置主体另一端的抽空泵，所述抽空泵的下方设置有套壳，所述套壳的内部固定安装有净化装置。本实用新型通过以卡接的方式将密封圈卡接在下半圆壳体的内表面，以便于后期的拆卸更换以及提高装置的密封性，并通过以套接的方式将其套在抽气装置主体的外表面，同理也将下半圆壳体套接在抽气装置主体的外表面，然后通过利用限位螺栓与连接板的内部通过螺纹连接方式，将两个壳体之间进行固定安

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219888217 U (45)授权公告日 2023.10.24 (21)申请号 202320702642.0 (22)申请日 2023.04.03 (73)专利权人北京帕托真空技术有限公司地址