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一种阳极键合的光电镊芯片.pdfVIP

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  • 2023-10-25 发布于四川
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一种阳极键合的光电镊芯片.pdf

    本发明涉及生物芯片领域，更具体的说是一种阳极键合的光电镊芯片，包括流道顶部ITO层、玻璃透光层、流道层、光电薄膜层和下极板层；玻璃层、流道层、光电薄膜层和下极板层组成包封液体的密封立方体结构；优选的，所述流道层设置在玻璃透光层内，流道层是通过在玻璃透光层上刻蚀加工制成；优选的，所述光电薄膜层的材质是光电薄膜材料；优选的，所述光电薄膜层可以是一种NPN型光电晶体管；本发明的有益效果为通过刻蚀技术制造的光电镊流道图案，并且实现了微流道与上极板的集成，使键合步骤仅需要一步，减少了传统光电镊芯片需要两步

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116920975 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202311195462.9 (22)申请日 2023.09.18 (71)申请人 微纳动力（北京）科技有限责任公司

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