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本发明为一种具有水平校正功能的键合设备，主要包括一第一腔体、一第二腔体、一压合单元、一载台、复数个水平调整单元及复数个距离量测单元。第一腔体用以连接第二腔体，并在两者之间一密闭空间。压合单元设置在第一腔体内，而载台则设置在第二腔体内。压合单元面对载台，并用以键合放置在载台上的基板。水平调整单元设置在第一腔体上，而距离量测单元设置在第二腔体上。距离量测单元用以将感测光束投射至压合单元，以量测压合单元的水平，并通过水平调整单元调整压合单元的水平。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116936401 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202210343994.1
(22)申请日 2022.03.31
(71)申请人 天虹科技股份有限公司
地址 中国
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