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2023-10-25 发布于四川
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半导体设备.pdf

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本发明公开了一种半导体设备，包括控制器和升降组件，控制器控制升降组件的运动，半导体设备还包括安全组件，安全组件包括安全检测件和可转动的转动件；安全检测件与控制器通信连接，安全检测件通过检测转动件以向控制器发送安全信号，控制器接收到安全信号后，控制升降组件停止运动。在一个实施例中，升降组件连接半导体设备的工作腔体的上盖，本发明根据安全检测件检测转动件的结果以向控制器发送安全信号，控制器接收到安全信号后，控制升降组件停止运动，从而能够有效阻止工作腔体的上盖异常下降，防止人员受伤。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116924267 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202210344489.9 (22)申请日 2022.03.31 (71)申请人盛美半导体设备(