原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种便于调节生长温度的微波反应装置，属于晶体生长设备领域。包括有微波谐振腔体，微波谐振腔体内设置有生长台，生长台上方设置有生长基台，生长台上连接有冷却机构，生长基台上连接有升降机构。升降机构能够控制生长基台深入等离子体的深度和并调节生长基台与具有冷却机构的生长台本体的间距，进而实现生长基台上的金刚石籽晶获取的等离子体能量以及散热速度的调节，达到金刚石籽晶生长温度的精确控制；同时，升降机构的连接杆通过真空管、压缩密封件实现真空密封，并通过波纹管进行伸缩缓冲，既能够保证生长基台的真空环境
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116926666 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202310916192.X
(22)申请日 2023.07.25
(71)申请人 北京左文科技有限
文档评论（0）