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本发明提供了一种碳化硅表面抛光设备及抛光方法，包括移动组件，所述移动组件包括基板、电动升降柱、方孔、横支臂，本发明通过夹持块对碳化硅本体进行夹持固定，启动电动升降柱使抛光轮和碳化硅本体接触，同时启动打磨电机带动抛光轮转动，从而对碳化硅本体进行打磨，通过启动大电机带动齿轮转动，从而推动横支臂移动，使抛光轮对碳化硅本体进行纵向移动打磨，通过启动伺服电机带动滑块底部的电机安装筒移动，使抛光轮对碳化硅本体进行横向移动打磨，通过抛光轮的横向和纵向移动，从而便于对尺寸较大的碳化硅进行移动式的全面的抛光，通过
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116922246 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202311078584.X
(22)申请日 2023.08.25
(71)申请人 航菱微（泰州）科技有限公司
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