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本发明实施例涉及激光清洗技术领域,提供一种激光清洗装置,包括脉冲光路单元、连续光路单元和合束镜。合束镜包括两个侧面,一个侧面为透射镜面,另一个侧面为反射镜面,脉冲光路单元位于合束镜的反射镜面一侧,连续光路单元位于合束镜的透射镜面一侧。脉冲光路单元向反射镜面射出脉冲激光,连续光路单元向透射镜面射出连续激光,连续激光经透射镜面透射并从合束镜的反射镜面射出。经反射镜面反射后的脉冲激光和从反射镜面射出的连续激光相叠合形成用于清洗的合束激光。本发明实施例的激光清洗装置,通过合束镜使脉冲激光和连续激光相叠合
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109719088 A
(43)申请公布日
2019.05.07
(21)申请号 20191
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