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本发明提供一种基于多点检测的焦面调平方法，该方法包括：利用计算机对样品待曝光区域进行网格划分；记录每一格点的x，y轴坐标；针对每一格点，采集检测光束聚焦在该格点的聚焦图像，利用计算机控制移动台的z轴高度，将该格点的聚焦图像与标准图像数据的差值在精度控制范围内时的z轴高度记录为该格点的z轴坐标，建立格点坐标(x，y，z)数据库；根据每相邻四个格点的坐标，计算四个格点围成的区域内任一点(x，y)的z轴坐标；利用计算机控制移动台将曝光光束移动到曝光区域，对曝光区域进行焦面z轴位移补偿后曝光。本发明提供
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116931392 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202210314922.4
(22)申请日 2022.03.29
(71)申请人 中国科学院理化技术研究所
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