一种用于硅单晶生长的水冷套.pdfVIP

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2023-10-25 发布于四川
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一种用于硅单晶生长的水冷套.pdf

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本发明公开了一种用于硅单晶生长的水冷套，属于硅单晶生产设备技术领域，通过设置两层水冷层，给硅单晶生长提供高效率的导热环境，内水冷层通过设置若干水冷板作围绕所述外水冷层的轴线远离和靠近运动，保持硅单晶圆柱体的表面和水冷板保持较近的距离，随着硅单晶的转动，硅单晶圆柱体在水冷板之间的导热均匀；较大程度的将水冷结构靠近生长的硅单晶圆柱体，使硅单晶圆柱体的温度快速传递，外水冷层能对坩埚上方的整体环境温度进行传导，保证了水冷套侧方位整体的密闭性，避免温度的外扩，此装置提升硅单晶生产环境的导热效率，提高硅单晶

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116926673 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202311136599.7 (22)申请日 2023.09.05 (71)申请人重庆臻宝科技股份有限公司地址