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本发明提供一种MEMS谐振器特征提取电路及提取方法包括：MEMS谐振器的驱动接口基于接入的驱动信号产生阻尼振荡信号；预处理模块将阻尼振荡信号进行转换并放大，输出第一信号；调节模块对接入的第一信号进行相位调节，并基于MEMS谐振器的特征参数调节环路增益生成驱动信号；信号处理模块降低第一信号的损耗，并对第一信号的波形和包络进行采样；主控模块通过处理第一信号的波形及包络信息以提取MEMS谐振器的特征参数。通过调节模块动态调整MEMS谐振器特征提取电路的相位差和净增益，消除晶圆在不同位置上MEMS谐振器
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116930717 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202310934422.5
(22)申请日 2023.07.27
(71)申请人 麦斯塔微电子（深
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