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本发明涉及晶圆收纳领域，具体涉及一种晶圆收纳盒、使用该收纳盒的取放装置及取放方法。本发明提供了一种晶圆收纳盒，包括：盒本体，盒本体内设置有若干镜像设置的收纳部，收纳部与盒本体滑动连接，收纳部上适于放置工件；两限位件，限位件镜像设置在盒本体两侧，限位件贯穿盒本体设置，且限位件与盒本体弹性连接；两推压件，推压件设置在盒本体底部，且两推压件分别与盒本体两侧最底部的收纳部连接；以及限位件底部与收纳部抵接，收纳部上滑动设置有浮动限位块。放置工件时，使工件倾斜摆放，以便于工件上的水向依次流动滴落。在取片时，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116936432 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202311185145.9
(22)申请日 2023.09.14
(71)申请人 常州银河世纪微电子股份有限公司
地
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