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供体板、沉积装置和沉积方法.pdfVIP

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  • 2023-10-25 发布于四川
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供体板、沉积装置和沉积方法.pdf

    本文中公开了一种用于将沉积物质(2)沉积在靶材(30)上的供体板(1)。供体板包括柔性衬底(10)，该柔性衬底在第一主表面(101)处相继具有电极层(11)、第一电绝缘层(12)、电阻加热器层(13)、第二电绝缘层(14)和图案化层(15)，该图案化层设置有一个或多个凹部(155)，该一个或多个凹部用于保持待沉积在靶材上的沉积物质(2)。电极层(11)包括形状互补且彼此电绝缘的第一电极和第二电极(111、112)。电阻加热器层(13)经由第一电绝缘层中的至少一个相应的狭缝(121、122)电连接

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116941332 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202280017200.0 (74)专利代理机构 北京派特恩知识产权代理有

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