基于圆盘谐振器的RFMEMS振荡器振荡电路研究的中期报告.docxVIP

基于圆盘谐振器的RFMEMS振荡器振荡电路研究的中期报告 本文中期报告主要介绍基于圆盘谐振器的RFMEMS振荡器振荡电路的研究进展和结果。 一、研究背景 RFMEMS（射频微机电系统）技术是微机电系统技术与射频技术的结合，其主要应用领域是射频通信、雷达、卫星通信等。RFMEMS振荡器是RFMEMS器件中的重要组成部分，其在射频系统中的作用就是产生稳定的射频信号。目前，RFMEMS振荡器主要有基于金属薄膜谐振器和基于微弯曲悬臂梁谐振器两种类型，而基于圆盘谐振器的RFMEMS振荡器具有体积小、频率稳定性好、品质因子高等优点，因此备受关注。 二、研究内容与进展 本文以基于圆盘谐振器的RFMEMS振荡器为研究对象，主要研究内容包括：振荡电路的设计与分析、圆盘谐振器的制备和性能测试、振荡器的集成与性能测试等。 1. 振荡电路的设计与分析 本文设计了一种基于互补式金属氧化物半导体场效应晶体管（CMOSFET）的差分振荡器电路，该电路采用了两个相位差为180°的振荡回路，其中每一个回路都包含一个圆盘谐振器，用来产生和放大射频信号。使用ADS软件对电路进行仿真和优化，最终得到了一个稳定的振荡信号。 2. 圆盘谐振器的制备和性能测试 本文使用标准微纳加工技术制备了基于圆盘谐振器的RFMEMS振荡器的谐振器部分，并对其进行了性能测试。测试结果表明，制备的圆盘谐振器具有良好的机械稳定性和频率稳定性，并且