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本发明属于射频微波技术领域，具体为一种BaxSr1‑xTiO3薄膜的制备办法。本发明方法包括：精确标定出各BaxSr1‑xTiO3成分的薄膜和衬底组合的微波介电谐振的工作温区；通过相场模型描绘铁电极化P在畴壁区域的实际分布，并结合分子动力学方法计算畴壁区域的原子运动轨迹，寻找局域性的声子散射模式，厘清ωr反转的微观机制；应用上述理论，以BaTiO3和SrTiO3的靶材，设计实现梯度成分的BaxSr1‑xTiO3薄膜的制备。本发明设计的BaxSr1‑xTiO3薄膜通过平均各单一成分在薄膜整体介电响
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116949396 A
(43)申请公布日 2023.10.27
(21)申请号 202310882307.8
(22)申请日 2023.07.18
(71)申请人 复旦大学
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