原创力文档- 2
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- 2023-10-28 发布于四川
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本实用新型公开了一种多功能多晶硅片加工装置，包括：箱体、支撑柱、控制面板、顶盖、进水口、连接环、喷淋头、出水口、放置座、卡座、连接柱、水槽、超声波震板、防护垫，所述箱体的下端固定安装有支撑柱，所述箱体的正端固定安装有控制面板，所述箱体的上端固定连接有顶盖，所述顶盖的上端固定安装有进水口，所述顶盖的一端固定安装有连接环，所述顶盖的底端固定安装有喷淋头，所述箱体的一端固定安装有出水口，所述箱体的内部固定安装有放置座，所述放置座的内部固定安装有卡座，所述放置座的一端固定安装有连接柱，所述顶盖的内部固定
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219902833 U
(45)授权公告日 2023.10.27
(21)申请号 202321126537.3
(22)申请日 2023.05.11
(73)专利权人 温州海旭科技有限公司
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