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一种具有晶圆级集成光学微透镜的垂直光腔面发射激光器.pdfVIP

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  • 2023-10-28 发布于四川
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一种具有晶圆级集成光学微透镜的垂直光腔面发射激光器.pdf

    本实用新型公开了一种具有晶圆级集成微透镜的垂直光腔面发射激光器，涉及半导体光学器件技术领域，包括VCSEL芯片和晶圆级集成的微透镜结构，该结构按照外延生长顺序方向依次是：n型电极、n型衬底、DBR布拉格反射镜、光学有源层、氧化窗口层、DBR布拉格反射镜和微透镜层。其中，微透镜层的集成是通过晶圆的外延生长、CMOS兼容流程等方式集成；微透镜的上表面曲率方程，是经过优化计算所得，能够对顶部布拉格反射镜出射光做出精准约束，实现聚焦、准直或者发散等功能，减小了垂直腔面发射激光器芯片出射光的远场发散角。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219917900 U (45)授权公告日 2023.10.27 (21)申请号 202321122406.8 (22)申请日 2023.05.11 (73)专利权人 浙江老鹰半导体技术有限公司 地址

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