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钛锆酸铅和聚偏氟乙烯共聚物铁电薄膜的制备工艺与电学表征的中期报告 本研究旨在制备钛锆酸铅（PZT）和聚偏氟乙烯（PVDF）共聚物铁电薄膜，并对其进行电学表征。已完成的工作包括材料的制备、薄膜的制备及电学测试等。 一、材料制备 1. PZT的制备 采用溶胶凝胶法制备PZT粉体。将乙醇、乙酸和丙酮混合，加入铅、锆和钛的金属盐，制成溶胶。以1000℃的温度煅烧3h得到PZT粉体。 2. PVDF的制备 将PVDF粉末加入N，N-二甲基甲酰胺中，经过高速搅拌离子交换获得PVDF的溶液。 二、薄膜制备 采用射频磁控溅射（RFMS）技术制备PZT/PVDF共聚物铁电薄膜。铁电薄膜制备过程中，优化了工艺参数，如沉积时间和功率等，以获得优良的薄膜质量。 三、电学测试 采用MFE-3A霍尔效应测试仪对PZT/PVDF共聚物铁电薄膜进行电学测试。测试了薄膜的极化电荷密度、介电常数、压电应变系数等性能参数。 目前，我们已成功制备出PZT/PVDF共聚物铁电薄膜，同时进行了初步的电学测试，结果显示：该薄膜具有优良的铁电性能和压电性能，为后续研究奠定了坚实的基础。