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本发明提供载台装置、转印装置及物品制造方法。保持基板的载台装置包括：粗动载台；沿规定平面驱动粗动载台的粗动致动器；微动载台，保持基板；微动致动器，调整微动载台相对于粗动载台的位置和姿势；以及电磁致动器，以非接触方式将由粗动致动器提供给粗动载台的推力向微动载台传递，电磁致动器包括：固定铁芯，固定于粗动载台且具有第一端面；线圈，缠绕于固定铁芯；以及可动铁芯，固定于微动载台且具有与第一端面相向的第二端面，从第一距离减去第二距离而得到的差值的最大值比正的规定值大，第一距离为从由微动载台保持的基板到第一端
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116974146 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202310456559.4
(22)申请日 2023.04.25
(30)优先权数据
2022-075365 202
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