原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种实时分析晶圆缺陷的数据处理方法，涉及晶圆缺陷数据分析处理技术领域；基于晶圆缺陷数据分析系实现，所述晶圆缺陷数据分析系包括：缺陷信息收集模块，缺陷信息收集模块将机台产生的缺陷文件写入到消息队列中间件中，收集机台产生的STDF文件或CP测试文件；信息解析模块，信息解析模块通过流式处理程序第一个微服务程序实现文件解析功能。本发明通过流式计算思想，高效处理出晶圆缺陷分析的常用分析结果，最终将分析结果呈现出来，供技术人员确定缺陷分析结果，针对性改善产品良率，提升了缺陷分析的效率，降低了缺陷
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116974788 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202310941210.X G06F 16/2455 (2019.01)
(22)申请日 2023.0
文档评论（0）