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本发明涉及一种钽靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)混合原料钽粉，熔炼得到钽锭；(2)步骤(1)所得钽锭经过氢化处理，得到氢化钽粉；(3)步骤(2)所得氢化钽粉依次经冷等静压处理与热压烧结，得到钽坯；(4)步骤(3)所得钽坯依次进行第一锻打处理、第一退火处理、第二锻打处理、第二退火处理、冷轧处理与第三退火处理，得到所述钽靶材。本发明在现有技术的基础上，采用混粉、脱氢、冷等静压、热压烧结及锻造塑性变形等技术相结合，既提高了钽靶材的纯度，又降低了钽靶材的晶粒尺寸，同时优化了钽靶材
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116970913 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202310954982.7 B22F 3/17 (2006.01)
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