原创力文档- 1
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- 2023-11-01 发布于四川
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提供一种参数确定装置、参数确定方法以及参数确定程序，以短时间且低成本地计算出用于外延生长装置的一个或多个参数的最佳值。具备：输入部，接受一个或多个参数的每一个的多个值、外延膜的位置数据以及由特性测量装置对成膜的外延膜进行测量的特性数据；运算部，根据位置数据、特性数据以及一个或多个参数的每一个的多个值，计算出一个或多个参数的每一个的最佳值；运算部导出响应函数FQj(x，ΔPk)，并通过模拟计算出一个或多个参数的最佳值。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116971026 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202310127268.0
(22)申请日 2023.02.17
(30)优先权数据
2022-075038 202
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