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本发明公开了智能防堵片硅片输送设备，关于硅片生产技术领域，包括机架，所述机架上设置有多个第一传送台和多个第二传送台，机架的下端设置有支腿，第二传送台上设置有与第二传送台相匹配的转向设备，智能防堵片硅片输送设备还包括红外检测系统、进出气系统、备用输送机构，红外检测系统用于检测硅片位于第二传送台上的位置，进出气系统与红外检测系统相匹配，所述进出气系统用于调整硅片位于第二传送台上的位置，所述进出气系统还可以使硅片与第二传送台之间更稳定，备用输送机构安装在第二传送台内，备用输送机构配合进出气系统能够调整
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116978842 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202310950838.6
(22)申请日 2023.07.31
(71)申请人 江苏龙恒新能源有限公司
地址 2
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