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本发明公开了一种直写设备的曝光控制系统及控制方法，控制系统包括频率调整电路、曝光执行器、控制接口、曝光文件、输出接口和曝光状态寄存器；所述频率调整电路用于根据曝光参数的要求，产生曝光需求的特定频率的时钟，作为曝光执行器的时钟源；所述曝光文件为预先生成的文件，曝光文件以主场、子场和形状为层级进行划分，形成单个或多个文件，文件包含了曝光电路图案需要的参数操作和曝光控制的全部指令码；所述曝光执行器，用于接受控制接口的控制，运行曝光文件以完成图案的曝光。本发明不仅能实现曝光过程的连续执行，提高曝光效率，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116974151 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202310927990.2
(22)申请日 2023.07.26
(71)申请人 中国电子科技集团公司第四十八研
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