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一种单晶硅样片抛光装置.pdfVIP

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  • 2023-11-01 发布于四川
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一种单晶硅样片抛光装置.pdf

    本实用新型属于单晶硅片技术领域，具体的说是一种单晶硅样片抛光装置，包括打磨箱；所述打磨箱内部底部固接有伸缩杆；所述伸缩杆输出端设有吸盘；所述打磨箱内部顶部滑动连接有滑杆；所述滑杆中部滑动连接有定位块；所述定位块底端转动连接有抛光轮；所述打磨箱内部侧壁中部固接有承接板；通过利用吸盘的吸附效果，可以减少在使用夹具进行固定时，夹具对单晶硅样片造成的破坏，同时因吸盘位于单晶硅样片底部，可以减少对单晶硅样片侧壁的遮挡，提高抛光效果，减少因夹具导致的遮挡，进行后续二次处理。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219925631 U (45)授权公告日 2023.10.31 (21)申请号 202321234940.8 (22)申请日 2023.05.19 (73)专利权人 四川高景太阳能

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