滤波元件、滤波器及射频模组.pdfVIP

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  • 2023-11-04 发布于四川
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本申请提供一种滤波元件、滤波器及射频模组,滤波元件包括压电晶圆、导电图案、金属化结构、封盖结构和凸块。压电晶圆包括相背的第一表面和第二表面。导电图案在压电晶圆的第一表面并包括主动功能区和非主动功能区。金属化结构在非主动功能区表面。封盖结构包括至少一覆盖层、密封层以及加强层,覆盖层包括相互连接的第一部分与第二部分,第一部分贴合于金属化结构表面,第二部分与非主动功能区接触,并悬空覆盖主动功能区形成空腔结构;密封层在覆盖层的表面;加强层在密封层的表面。多个凸块设置于金属化结构远离压电晶圆的表面。本申请

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116996042 A (43)申请公布日 2023.11.03 (21)申请号 202311255750.9 (22)申请日 2023.09.26 (71)申请人 北京超材信息科技有限公司 地址

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