一种载盘清洗装置和方法.pdfVIP

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2023-11-04 发布于四川
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本发明提供一种载盘清洗装置和方法。载盘清洗装置，用于清洗硅片载盘，载盘清洗装置包括用于清洗硅片载盘的周向凹槽第一清洗组件，第一清洗组件包括驱动组件、清洗探针和导向结构，清洗探针与驱动组件传动连接，以使清洗探针能够在驱动组件的驱动下进行圆周运动，导向结构用于填充硅片载盘的周向相邻的两个凸起结构之间的径向凹槽，以使清洗探针沿硅片载盘的周向凹槽移动。本发明实施例的载盘清洗装置，通过设置驱动组件和清洗探针，通过驱动组件带动清洗探针沿着硅片载盘的轴向凹槽移动，通过设置导向结构，能够确保清洗探针在清洗过程中

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116984276 A (43)申请公布日 2023.11.03 (21)申请号 202310953853.6 (22)申请日 2023.07.31 (71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司地