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PIPS 695 离子减薄仪操作规程
一、 操作前准备
◼ 确定Ar 钢瓶内尚有Ar 气体，输出压力25 PSI；
◼ 设备真空可达到5E-4 Pa （关掉左右离子枪氩气，上升载台）；
◼ 确定左右离子枪离子束是否对中。
二、 试片交换
◼ 将试片以 Duo Post 试片座固定好,并将待减区域移至中心；
◼ 按住 stage 绿色箭头上滑上升载台，按 vent，取下预抽室上
盖；
◼ 将 Duo Post 放入预抽室样品座上,盖上预抽室上盖；
◼ 按住 stage 绿色箭头往下滑下降载台，等到指示灯由黄灯变绿
即可。
三、 减簿及观察
◼ 设定所需的减薄时间；
◼ 设定工作电压 (一般设定为 4 或 5 Kev)；
◼ 设定离子枪工作模式(一般设定为双离子束调变)；
◼ 调整左右离子枪工作角度(一般正负 4 度)；
◼ 氩气工作模式选成自动气体；
◼ 设定载台转速(一般为 3 RPM)；
◼ 点启动开始工作；
◼ 工作期间可以点 Viewing 选项,使用 CCD 观察样品减薄情况；
◼ 样品穿孔后可更换低电压继续减薄,直到有良好薄区。
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