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本发明涉及一种单晶炉的连续加料装置,包括:外壳体,设有加料口及起吊接口;支架,固定于外壳体内;料斗,支撑于支架,料斗的底部设有出料口;加料管,上端口位于外壳体内,下端口伸出外壳体的底部;硅料输送装置,位于外壳体内,与出料口及加料管的上端口之间均密封连接;掺杂管,一端位于外壳体的外部,另一端位于加料管的上端口的上方,并与加料管的上端口密封连接;及定位销,固定于外壳体的底部。外壳体可安装至单晶炉的立柱并通过定位销定位,从而能够快速连接至炉体,且硅料输送装置与出料口及加料管之间均密封连接,能在封闭环境
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109183140 A
(43)申请公布日
2019.01.11
(21)申请号 20181
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