密封装置及其使用方法、涂胶显影设备.pdfVIP

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2023-11-04 发布于四川
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密封装置及其使用方法、涂胶显影设备.pdf

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本发明提供了一种密封装置及其使用方法、涂胶显影设备。所述密封装置包括密封本体和切换件；所述密封本体固定设置于第一面板；所述切换件与所述密封本体连接，且所述切换件用于使所述密封本体在伸展状态和收缩状态切换；所述密封本体在所述伸展状态时与第二面板抵持设置，以使所述第一面板和所述第二面板实现密封对接，所述密封本体在所述收缩状态时与所述第二面板间隙设置，以使所述第一面板和所述第二面板能沿所述第一面板与所述第二面板的密封面方向做相对运动。本发明适用于需要进行相对运动的两个面板之间的密封，不仅保证了两个面板

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116994990 A (43)申请公布日 2023.11.03 (21)申请号 202310946279.1 (22)申请日 2023.07.28 (71)申请人沈阳芯源微电子设备股份有限公司地