半导体器件、电子设备和制造半导体器件的方法.pdfVIP

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  • 2023-11-04 发布于四川
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半导体器件、电子设备和制造半导体器件的方法.pdf

[问题]提供一种半导体器件、一种电子设备和一种用于制造半导体器件的方法,其中,不管栅电极的形状如何,由RTN引起的影响都减小。[解决方案]一种半导体器件,其设置有:基板,其具有元件区域和元件分离区域,所述元件区域包括源极区和漏极区,其中,在源极区和漏极区之间存在沟道区,所述元件分离区域相对于与设置源极区、沟道区和漏极区的方向正交的方向至少设置在两侧;栅极绝缘膜,其至少从元件分离区域的一侧到另一侧设置在基板的元件区域上;以及栅电极,其设置在栅极绝缘膜上。所述栅极绝缘膜包括杂质。包括元件区域和元件分

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111052324 A (43)申请公布日 2020.04.21 (21)申请号 20188

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