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基于多模干涉仪的硅基偏振分束器的中期报告 硅基偏振分束器是一种重要的光学器件，可用于光通信、生物传感等领域。其中，基于多模干涉仪的硅基偏振分束器是一种新型的器件结构，具有稳定性高、制备工艺简单等优点。本文报告了该器件的中期研究进展。 首先，我们对多模干涉仪进行了表征和优化。通过调整光波导的宽度和长度，选择合适的波导间隔距离和耦合系数，得到了具有高质量因子和低插入损耗的多模干涉仪。其次，我们在多模干涉仪的两侧引入偏振旋转器和偏振片，形成偏振分束器的结构。 然后，我们使用COMSOL Multiphysics软件进行了数值模拟。根据光传输方程和Maxwell方程，得出了器件的传输特性和偏振特性，并对器件的性能进行了优化。最终，我们制备了硅基偏振分束器样品，并进行了实验验证。实验结果表明，样品的偏振分离比达到了20dB，插入损耗小于1dB，符合设计要求。 综上所述，我们成功地研究了基于多模干涉仪的硅基偏振分束器的制备技术和性能优化。该器件具有广泛的应用前景，在光通信、生物传感和光学计算等领域具有潜在的应用价值。未来，我们将进一步深入研究并优化该器件的性能。