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大范围激光直写系统的激光扫描研究的中期报告 近年来，激光直写技术已经越来越广泛地应用于半导体器件制造、电子设备加工、玻璃制造、纺织印花、皮革加工、陶瓷制造等领域。激光直写技术具有无接触、无损伤、高速度、高精度、高可靠性、易于自动化控制等优点。大范围激光直写系统是一个重要的激光直写设备类型，它可以在具有大面积扫描特性的基础上，实现高速度、高精度、高质量的激光直写加工。 本中期报告通过对激光扫描技术的研究和分析，探讨了大范围激光直写系统的激光扫描问题，主要包括以下几个方面。 首先，针对激光扫描中的非线性问题，提出了采用高斯与帕里约特近似相结合的扫描模型，以解决激光扫描过程中速度、加速度变化快的问题。 其次，为了提高激光扫描的精度和速度，研究了随机扫描路线的生成算法，并将其用于对规则扫描路线进行优化。同时，通过对激光扫描过程中的动态校正进行研究，提出了一种基于传感器反馈的自适应激光校正方法，来提高激光扫描的稳定性和精度。 最后，结合现场应用实验结果，验证了所提出的扫描模型和扫描优化算法的可行性和有效性，并且对未来的研究进行了展望。 总体来说，本研究对大范围激光直写系统的激光扫描问题进行了深入探讨和研究，为激光直写技术的应用和发展提供了一定的理论基础和实践指导。