2023年半导体用石英玻璃材料相关行业项目成效实现方案.docx

半导体用石英玻璃材料相关行业项目成效实现方案 PAGE 1 半导体用石英玻璃材料相关行业项目成效实现方案 目录 TOC \h \z 29280 概论 3 16526 一、产品规划 3 25287 (一)、产品规划 3 20035 (二)、建设规模 4 27660 二、土建工程说明 5 11748 (一)、建筑工程设计原则 5 8941 (二)、半导体用石英玻璃材料项目工程建设标准规范 6 12179 (三)、半导体用石英玻璃材料项目总平面设计要求 8 13331 (四)、建筑设计规范和标准 8 7727 (五)、土建工程设计年限及安全等级 9 215