2023年化合物半导体的外延生长设备相关项目实施方案.docx

化合物半导体的外延生长设备相关项目实施方案 PAGE 1 化合物半导体的外延生长设备相关项目实施方案 目录 TOC \h \z 1502 前言 3 22964 一、化合物半导体的外延生长设备概述 3 29389 (一)、化合物半导体的外延生长设备项目名称及建设性质 3 2210 (二)、化合物半导体的外延生长设备项目承办单位背景分析 4 1782 (三)、战略合作单位 4 25328 (四)、化合物半导体的外延生长设备项目提出的理由 4 18125 (五)、化合物半导体的外延生长设备项目选址及用地综述 5 32201 (六)、土建工程建设指标 6 4941