一种材料成膜过程的原位发光光谱测量装置及其使用方法.pdfVIP

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2023-11-08 发布于四川
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一种材料成膜过程的原位发光光谱测量装置及其使用方法.pdf

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本发明提供了一种材料成膜过程的原位发光光谱测量装置及其使用方法，涉及薄膜样品发光光谱测试技术领域，包括：旋涂组件，用于使样品旋涂成膜；光源组件，位于旋涂组件上方，用于提供向旋涂组件的测试光源；测试光路，包括二向色镜位于光源组件与旋涂组件之间，光源组件发光穿过二向色镜到旋涂组件上，使样品激发光并投射至二向色镜，二向色镜将发射光反射并传输到光谱仪；光隔绝箱，用于隔绝环境光，旋涂组件、光源组件和测试光路均位于光隔绝箱内。本发明通过构建了能对于材料从液态膜到固态薄膜过程的发光光谱测量装置，得到薄膜样品在

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117007560 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202311034399.0 (22)申请日 2023.08.16 (71)申请人广州大学地址 510006