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本发明提供了一种适用于碳化硅原料合成炉的热场，石墨坩埚的外圈四周设置有主加热器，主加热器外圈由内到外依次设置有内保温筒、外保温层，石墨坩埚的下方设置有辅加热器，内保温筒的内部底面两侧分别设置有铜电极、石墨电极；石墨坩埚通过底面的支撑座固定。本发明的热场采用石墨电阻加热，加热温度高，持续性好；采用侧面的主加热器与底部的辅加热器加热，可以使需要合成的原料四周及底部区域受热更加均匀，能够有效避免合成过程中局部原料的受热或者受冷不均，导致合成失败或者浪费；同时本发明热场还设计有保温筒，能够使温度辐射更为
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117005037 A
(43)申请公布日 2023.11.07
(21)申请号 202310787114.4
(22)申请日 2023.06.29
(71)申请人 上海汉虹精密机械有限公司
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