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本实用新型涉及一种可与镀膜主舱隔离/连通切换的镀膜机构及真空镀膜机，所述镀膜机构包括至少一间小舱室，该小舱室通过其舱口与所述镀膜主舱连通，其内部设有镀膜组件，其舱口处还设置有用于控制与所述镀膜主舱隔离/连通切换的控制阀。本实用新型采用可与镀膜主舱隔离/连通切换的镀膜机构，可避免与镀膜室共室时受镀料的污染，影响镀膜如AF膜质量与纯净度，也可节省清理AF蒸发系统的时间，提高生产效率。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219972436 U
(45)授权公告日 2023.11.07
(21)申请号 202320061982.X
(22)申请日 2023.01.10
(73)专利权人 广东汇成真空科技股份有限公司
地
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