可聚合磺酸肟酯类光致产酸剂和光刻胶树脂及其制备方法.pdfVIP

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2023-11-08 发布于四川
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可聚合磺酸肟酯类光致产酸剂和光刻胶树脂及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种可聚合磺酸肟酯类光致产酸剂和光刻胶树脂及其制备方法，该方法包括：将溴化物Ⅰ和第一碱分散于第一溶剂中，加入R4H发生第一取代反应，加入羟胺发生脱水缩合反应，加入酸调节pH，过滤得到中间体Ⅱ；将中间体Ⅱ、第二碱和第二溶剂混合冷却，加入含R1‑R2的磺酰氯类化合物发生第二取代反应，得到光致产酸剂单体Ⅲ。与现有技术相比，本发明可以有效改善光致产酸剂分布不均匀和后烘过程中酸迁移的问题，实现了光致产酸剂在光刻胶膜中的均匀分布。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117003698 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202310988871.8 (22)申请日 2023.08.08 (71)申请人上海大学地址 200444