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本发明涉及晶圆切割技术领域,具体的说是一种晶圆切割设备,包括划片机,所述划片机上安装有切割机构,所述切割机构上安装有紧固机构,所述划片机上安装有固定机构,所述划片机内部安装有放置机构,所述切割机构上安装有清理机构,所述清理机构上安装有闭锁机构;通过切割机构利于对晶圆切割工作,通过紧固机构使切割机构刀具安装牢固,并方便拆卸,通过固定机构利于切割机构与划片机安装牢固,并且方便后续拆卸维护,操作更加方便,通过清理机构有利于对切割时散热个清理,并且对部分碎渣收集存放,通过闭锁机构方便清理机构进行清理回收
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117001857 A
(43)申请公布日 2023.11.07
(21)申请号 202310755856.9
(22)申请日 2023.06.26
(71)申请人 宁波展通电信设备
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