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本实用新型公开了一种用于晶圆搬运的直驱驱动装置，其包括导轨、主体和驱动组件，主体安装在导轨上，主体用于承载晶圆，主体相对于导轨可沿导轨的延伸方向移动，以使晶圆在导轨的延伸方向上移动，驱动组件包括杆件、连接件、直驱电机和编码器，杆件沿导轨的延伸方向延伸，连接件连接主体和杆件，连接件相对于杆件可在杆件上移动，直驱电机与杆件相连，直驱电机用于驱动杆件绕自身轴线方向转动，以使连接件带动主体在杆件上移动，编码器位于直驱电机下方，编码器用于记录杆件自身旋转角度，并根据旋转角度计算主体在导轨上移动的位置。本实
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219979521 U
(45)授权公告日 2023.11.07
(21)申请号 202320303699.3 B66F 7/28 (2006.01)
(22)申请日 2023.02.2
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