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本实用新型公开了一种便于维护的光刻机，属于光刻机维护领域，所要解决的问题是现有光刻机柜门启闭操作繁琐且占用空间较大的问题；采用的技术方案如下：该方案包括光刻机，且光刻机前侧的槽口上装配有第一挡门和第二挡门；所述光刻机的前侧装配有套座，所述套座中套装有第一挡门，所述第一挡门中套装有第二挡门，且光刻机的外壁上固定安装有位于边缘处且卡接在第二挡门内侧的卡座；该便于维护的光刻机，通过光刻机外侧第一挡门与第二挡门的设置，当需要对其进行启闭时，只需横向移动第二挡门，推动其至第一挡门内侧的副卡槽中，同时将第一
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219978696 U
(45)授权公告日 2023.11.07
(21)申请号 202321057701.X
(22)申请日 2023.05.06
(73)专利权人 杭州芯微影半导体有限公司
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