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本发明公开了一种硅料清洗方法，包括根据粒径对粒径≥3mm的硅料分类；对每一种不同分类的硅料进行不同的前置处理；对经过前置处理的每一种不同分类的硅料依次进行混酸清洗、超声漂洗、溢流漂洗、纯水冲洗。因为本发明采用了该硅料清洗方法，从而能将硅料清洗得更洁净，经过本发明方法清洗的硅料的洁净度完全达标，用于重新生产，能保证单晶的品质。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117000672 A
(43)申请公布日 2023.11.07
(21)申请号 202210468712.0
(22)申请日 2022.04.29
(71)申请人 内蒙古中环晶体材料有限公司
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