原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请公开了一种划片机中刀片的划片高度调整方法、装置及存储介质，其中划片高度调整方法包括：获取预存信息，包括刀片的初始半径r0和膜中切深设定值t0；当刀片在晶圆上每切完n个切道后，记录刀片中心在X轴向上的位置x0，获取切道的切割端点在X轴向上的位置x1，计算位置x0与位置x1的差值的绝对值w；根据w、r0以及t0计算刀片的磨损值δ；将t0减去刀片的磨损值δ，得到实际膜中切深值；根据实际膜中切深值以及刀片磨损值δ调整刀片的划片高度。本申请通过刀片的初始半径、膜中切深设定值，以及切道的切割端点与刀片
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117012680 A
(43)申请公布日 2023.11.07
(21)申请号 202311081584.5
(22)申请日 2023.08.25
(71)申请人 无锡立朵科技有限公司
地址 21
文档评论（0）