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一种磁悬浮自转公转反应室装置.pdfVIP

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  • 2023-11-08 发布于四川
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一种磁悬浮自转公转反应室装置.pdf

    本说明书实施例提供一种磁悬浮自转公转反应室装置，该装置包括石墨基础、主石墨回转体、多个基片承载体、多组磁机构、加热器以及处理器；石墨基础包括石墨基座和石墨压圈；多组磁机构包括第一支承磁机构、第二支承磁机构、第一驱动磁机构和第二驱动磁机构；加热器安装于主石墨回转体、基片承载体与石墨基座之间；处理器被配置为：根据设定的公转转速，生成第一磁力控制指令，控制第一驱动磁机构的磁力大小，以驱动主石墨回转体以设定的公转转速旋转；根据设定的自转转速，生成第二磁力控制指令，控制第二驱动磁机构的磁力大小，以驱动基片

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117005025 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202311123857.8 (22)申请日 2023.09.01 (71)申请人 苏州中科重仪半导

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